Faktoren, die die Hystereseeigenschaften von Drucksensoren aus diffundiertem Silizium beeinflussen
Microcyber NCS-PT105ⅡS Profibus DP-Druckmessumformer mit fortschrittlichem, ausgereiftem, zuverlässigem PiezowiderstandSilizium-Drucksensor wurde sorgfältig entwickelt, indem fortschrittliche Mikroprozessortechnologie und digitale Kapazitätsmesstechnologie kombiniert wurden. Die leistungsstarken Funktionen und die Hochgeschwindigkeits-Rechenfähigkeit des Mikroprozessors verleihen ihm hervorragende Eigenschaften wie Smart, hohe Genauigkeit, hohe Zuverlässigkeit, stabiler Nullpunkt usw. Das LCD-Modul kann physikalische Parameter (z. B. Druck, Temperatur usw.) anzeigen. Es kann Funktionen wie Nullpunkteinstellung, Bereichseinstellung per Tastendruck realisieren und ist für Feldtests einfach.
NCS-PT105ⅡS Profibus DPDrucktransmitter kann Druck, Differenzdruck, Flüssigkeitsstand, Durchfluss und andere industrielle Parameter messen. Es kann in der Erdöl-, Chemie-, Elektrizitäts- und Metallurgieindustrie usw. weit verbreitet sein.
Mit der Entwicklung der Halbleitertechnologie verbreiteten sich die verschiedenen technischen IndikatorenSilizium-Drucksensoren wurden kontinuierlich verbessert, aber die inhärente unkonventionelle und mehrwertige entsprechende Hysterese und die nichtlinearen Eigenschaften von Drucksensoren mit diffundiertem Silizium haben ihre Messgenauigkeit eingeschränkt. Gegenwärtig gibt es im In- und Ausland relativ wenige Untersuchungen zu den Hystereseeigenschaften von Sensoren. Die vorhandene Literatur beweist, dass es nicht möglich ist, neuronale Netze direkt zu ihrer Modellierung zu verwenden. Die Arbeit der meisten Gelehrten besteht darin, Hysterese-Nichtlinearität als allgemeine Nichtlinearität zu behandeln, und die Ergebnisse können die Kompensation nicht erfüllen. Präzisionsanforderungen.
Das Arbeitsprinzip des Drucksensors aus diffundiertem Silizium ist: Verwenden Sie den Herstellungsprozess der Halbleiterebene, um vier diffundierte Widerstände mit demselben Widerstand auf der entsprechenden Oberfläche des Siliziumbechers herzustellen und durch geeignete Verbindung der diffundierten Widerstände eine Wheatstone-Brücke zu bilden. Wenn die Membran unter Druck steht Wenn sie durch die Einwirkung verformt wird, ändert sich der Widerstand an der elektrischen Brücke entsprechend, so dass die elektrische Brücke ihren Gleichgewichtszustand verliert, so dass das elektrische Signal entsprechend der Druckänderung erhalten wird und der Zweck der Messung der Druck wird erreicht. Der spezifische Widerstand des Halbleitermaterials ändert sich mit der aufgebrachten Kraft, was der piezoresistive Effekt ist.
1. Rohstoffe
Jede Art von Halbleitermaterial erzeugt aufgrund der Komplexität seiner internen Organisationsstruktur Mikrospannungen zwischen den winzigen Körnern, nachdem es durch äußere Kraft unter Druck gesetzt wurde. Wenn die äußere Kraft verschwindet, verschwindet die Mikrodehnung, aber sie kehrt nicht unbedingt in den ursprünglichen Zustand zurück. Unterschiedliche Materialien haben völlig unterschiedliche Hystereseeigenschaften. Zu
2. Installationsbedingungen
Oberflächenbeschaffenheit, Montagedrehmoment etc. sind die größten Einflussfaktoren. Es bezieht sich auch auf die Einbaubedingungen des Drucksensors am Einsatzort, wie z. B. Oberflächenbeschaffenheit, Kontaktfläche, Einbaudrehmoment, Schraubenfestigkeit und Härte der Lageroberfläche. Diese Einflussfaktoren können manchmal mit einer Verschlechterung der Hystereseeigenschaften des Sensors verwechselt werden. Zu
Diese Einflussfaktoren stehen in direktem Kontakt mit dem Sensor, und einige andere Faktoren scheinen wenig mit dem Sensor selbst zu tun zu haben, beeinflussen jedoch die Genauigkeit des Sensors. Wie die Stärke der Wägeplattform, die Festigkeit des Fundaments, Staub- und Wasserbeständigkeit und andere Faktoren. Diese beiden Faktoren, Staub und Wasser, werden unter relativ guten Wartungsbedingungen keine Auswirkungen haben, aber sie erfordern besondere Aufmerksamkeit, wenn sie im Freien verwendet werden. Der Hauptgrund ist, dass die Oberfläche des Sensors korrodiert ist, wodurch sich der Kontaktpunkt verändert. Besonders bei Produkten, die Zubehör enthalten, führt der Rost dazu, dass das Zubehör und der Sensor rosten"Rost"zusammen, was die Genauigkeit beeinträchtigt. Was den Einfluss von Staub auf die Genauigkeit des Sensors betrifft, werden erfahrene Benutzer geeignete Schutzmaßnahmen ergreifen, wie z. B. das Anbringen einer Dichtungsabdeckung und das Auftragen einer angemessenen Menge Butter auf der Oberfläche. Zu
Nachdem die Hystereseeigenschaften des Sensors und damit die Messgenauigkeit beeinträchtigt wurden, sollte dies im Herstellungsprozess und bei der tatsächlichen Verwendung so weit wie möglich vermieden werden, um eine stabile Leistung bei langfristiger Verwendung zu gewährleisten.
